EB-999 六甲基二硅氮烷 参数规格与选型_CAS 999-97-3

参数与选型说明

本页汇总EB-999(六甲基二硅氮烷 CAS 999-97-3)的关键技术参数与选型信息:含量/纯度、密度、折光率等指标见下方参数表,数据为出厂实测典型值,与随货 COA 同口径。EB-999 由两个三甲基硅基(CH₃)₃Si—通过 NH 桥接而成,结构对称、位阻适中。选型时建议先核对有机官能团与目标体系的反应匹配性,再对照密度、折光率等指标确认批次一致性;同类牌号对照可参考相关产品或向技术团队索取选型表。

键线式结构图(PubChem)

应用领域

• 光刻胶粘结促进(底涂增粘):晶圆光刻前以旋涂、浸渍或气相法涂布 HMDS 并热烘,将表面羟基转化为三甲基硅基,提升光刻胶附着力,防止浮胶与驻波。该应用的指标匹配度可对照参数表确认,选型存疑时先取样品化验。
• 晶圆与颗粒表面硅烷化:对二氧化硅、玻璃、氧化物粉体等进行疏水化表面处理。该领域选型时重点核对官能团匹配与关键指标范围。
• 硅烷化试剂:有机合成中对羟基、胺基等官能团引入三甲基硅基(TMS)保护。该应用的指标匹配度可对照参数表确认,选型存疑时先取样品化验。
• 有机合成中间体:用于氮杂环硅烷化、硅胺合成等多种反应体系。该领域选型时重点核对官能团匹配与关键指标范围。

用量参数与工艺

晶圆底涂(经典工艺):晶圆经脱水烘焙后,旋涂、浸渍或气相法涂布 EB-999,再于 150~200 ℃ 热板烘 60~90 秒;液相增粘也可按 HMDS:溶剂 10:1~20:1 稀释后旋涂。 所列区间为典型值,批量生产以实测数据标定。

液相硅烷化:按底物用量的 1.0~2.5 当量加入,在无水条件与氮气保护下反应,过量部分经减压回收;具体用量与温度按反应体系确定。 所列区间为典型值,批量生产以实测数据标定。

包装与储存

密封贮存于阴凉、通风、干燥处,防潮避光,远离水汽与酸碱;硅氮烷对水汽敏感,开封后建议充氮密封并尽快用完。标准包装:20KG 纸箱、25KG 塑料桶、200KG 铁桶或 IBC(按产品实际可选),可按客户要求提供其他规格。未开封常规有效期 12 个月。各包装规格的实物参数以 COA 与订单确认为准。

参数与选型常见问题

相关产品